เซ็นเซอร์ความดันซิลิคอนแบบเพียโซเรซิสทีฟ XYT190

พารามิเตอร์ประสิทธิภาพทางไฟฟ้า

ช่วงความดัน

-100kPa~0~10kPa…100MPa

การอ้างอิงแรงดัน

ความดันเกจ, ความดันสัมบูรณ์, ความดันเกจแบบปิดผนึก

ความตื่นเต้น

แนะนำให้ใช้กระแสไฟ 1.5mA สำหรับกระแสคงที่

แนะนำให้ใช้ 10V สำหรับแรงดันไฟฟ้าคงที่

อิมพีแดนซ์อินพุต

กระแสคงที่: 2kΩ～5kΩ

แรงดันไฟคงที่: 3kΩ～18kΩ

การเชื่อมต่อทางไฟฟ้า

เข็ม KOVAR ชุบทอง หรือลวดซิลิโคนอ่อน

อุณหภูมิชดเชย

กระแสคงที่: 0℃～60℃ (≤35kPa), -10℃～70℃ (ช่วงอื่นๆ)

แรงดันไฟฟ้าคงที่: -20℃～85℃

อุณหภูมิในการทำงาน

-40℃ ถึง 125℃

อุณหภูมิในการจัดเก็บ

-40℃ ถึง 125℃

ความต้านทานฉนวน

≥200MΩ/250VDC

เวลาตอบสนอง

≤1 มิลลิวินาที (สูงสุด 90%FS)

สื่อกลางที่วัดได้

ของเหลวและก๊าซทุกชนิดที่เข้ากันได้กับ 316L

การสั่นสะเทือนเชิงกล

20 กรัม (20～5000 เฮิรตซ์)

ช็อก

100 กรัม (10 มิลลิวินาที)

อายุการใช้งาน

10×106 (รอบ)

พารามิเตอร์ประสิทธิภาพเชิงโครงสร้าง

วัสดุไดอะแฟรม

316 ลิตร

วัสดุสำหรับที่อยู่อาศัย

316 ลิตร

การเติมน้ำมัน

น้ำมันซิลิโคน

แหวนซีล

ยาง NBR หรือยางฟลูออรีน

พารามิเตอร์พื้นฐาน

รายการ

เงื่อนไข

นาที

นาม

แม็กซ์

หน่วย

บันทึก

ความไม่เป็นเชิงเส้น

-0.3

±0.2

0.3

%FS

หมายเหตุ⑴

ฮิสเทอรีซิส

-0.05

±0.03

0.05

%FS

ความสามารถในการทำซ้ำ

-0.05

±0.03

0.05

%FS

เอาต์พุตศูนย์

-2

±1

2

มิลลิโวลต์

ช่วงเต็มสเกล

เอาต์พุต

1.5 มิลลิแอมป์, ≤35 กิโลปาสคาล

1.5mA ช่วงอื่นๆ

10V, ≤35kPa

10V, ช่วงอื่นๆ

40

60

60

80

90

100

150

120

มิลลิโวลต์

ศูนย์องศา

สัมประสิทธิ์

10kPa

ช่วงอื่นๆ

-2

-1.5

±1.5

±0.75

2

1.5

%FS

หมายเหตุ⑵

ช่วงอุณหภูมิ

สัมประสิทธิ์

-1.5

±1.5

±0.75

2

1.5

%FS

หมายเหตุ⑵

ฮิสเทอรีซิสความร้อน

-0.075

±0.05

±0.75

%FS

หมายเหตุ⑶

เสถียรภาพในระยะยาว

-0.3

±0.2

0.3

%FS/ปี